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基本特性
物理特性:
密度:10.2 g/cm³
熔点:2620℃
热膨胀系数:4.8×10⁻⁶/K(20-1000℃)
热导率:138 W/(m·K)(20℃)
机械性能:
抗拉强度:500-700 MPa(室温)
硬度:200-250 HV
化学特性:
耐大多数酸腐蚀(除热浓硫酸、硝酸外)
高温下易氧化(>400℃需保护气氛)
主要应用领域
1.半导体工业
单晶硅生长炉的热场组件
化学气相沉积(CVD)设备内衬
离子注入机部件
2.高温热处理
真空炉隔热屏
烧结炉炉膛
高温实验装置
3.特种玻璃制造
玻璃熔炼电极保护套
光纤预制棒加工模具
4.航空航天
火箭发动机喷管衬套
高温传感器外壳
制造工艺
粉末冶金法(主流工艺):
钼粉等静压成型、高温烧结(2000-2200℃)、热锻/热轧加工、精密机加工(车削、磨削)
熔炼加工法(高纯度要求):
电子束熔炼、锻造开坯、冷轧成型