与圆形炉胆的核心差异对比

　　特性　　　　方形真空炉胆　　　　　　　　　　　　圆形真空炉胆

　　结构强度　　需加强棱角抗变形设计（应力集中高）　自然承压结构（均匀受力）

　　热场均匀性　边缘温差较大（±8~10℃）　　　　　　更均匀（±3~5℃）

　　空间利用率　提升30%~50%（适合板状工件堆叠）　有效容积较低

　　制造成本　　高20%~35%（焊接工艺复杂）　　　　相对经济

　　关键设计要素

　　1.结构强化方案

　　棱角处理：

　　采用圆弧过渡设计（R角≥50mm）降低热应力开裂风险

　　外部加强筋布局（例：304不锈钢框架+水冷管道集成）

　　密封系统：

　　双道金属密封（铜垫圈+弹簧储能密封）确保直角法兰气密性

　　动态密封补偿技术（应对热胀冷缩变形）

　　2.热场优化技术

　　多区加热布局：

　　独立控温的侧面+底部加热器（如钼带分区缠绕）

　　边缘增配辅助加热带（补偿角部热损失）

　　反射屏设计：

　　阶梯式多层钼屏（层间距5~10mm）

　　角部采用可变形金属毡（缓解热膨胀应力）

　　典型应用场景

　　光伏行业：

　　硅片PERC电池的快速退火（要求温控±2℃）

　　方形炉胆匹配硅片传输轨道（减少死区空间）

　　复合材料成型：

　　碳纤维预浸料热压罐工艺（需平面压力均匀）

　　电子元件封装：

　　IGBT模块的真空钎焊（工件多为矩形基板）