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核心特点
紧凑设计：容积通常为1~20升（Φ100~300mm），适合克级至千克级样品。
高精度控制：
温度均匀性±3℃（通过多区加热补偿实现）。
真空度可达10⁻⁴~10⁻⁶Pa（分子泵机组选配）。
快速响应：石墨加热体升温速率可达50℃/min（与炉体轻量化设计相关）。
应用场景示例
材料合成：
纳米粉末制备（如TiO₂在10⁻³Pa下退火）。
高温烧结（碳化硅陶瓷，1600℃/2h）。
性能测试：
金属合金的蠕变行为研究（恒温±2℃）。
半导体薄膜退火（配合石英管式炉胆）。
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