核心功能与优势

　　真空环境：炉胆内部抽真空（通常≤10⁻³Pa），消除氧气和水蒸气，防止材料氧化、脱碳，尤其适合钛合金、不锈钢等活性金属。

　　均匀加热：圆形结构利于热场均匀分布（温差可控制在±5℃以内），避免工件变形。

　　高温性能：采用钼、钨或石墨等耐高温材料（可达2200℃），配合多层隔热设计减少热损失。

　　典型结构与材料

　　主体材料：

　　金属型：不锈钢（≤1000℃）、钼（1600℃）、钽（2200℃），需电解抛光降低放气率。

　　非金属型：高纯石墨（抗氧化涂层处理）、陶瓷纤维（快速升温）。

　　多层设计：

　　内胆：直接接触高温，选用高纯度材料。

　　隔热层：多层钼片或石墨毡，反射热辐射。

　　冷却系统：外置水冷夹套（快速降温至300℃以下）。

　　关键制造工艺

　　焊接技术：氩弧焊或电子束焊确保真空密封，焊缝漏率＜1×10⁻¹⁰Pa·m³/s。

　　表面处理：内壁镜面抛光（Ra≤0.4μm）减少气体吸附。

　　支撑结构：陶瓷立柱或水冷电极，避免热变形传导。

　　应用场景

　　航空航天：涡轮叶片的热等静压（HIP）处理。

　　半导体：硅晶圆的退火工艺（要求金属污染＜0.1ppm）。

　　工具钢：模具真空淬火（硬度HRC60以上）。