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关键特性
超薄厚度:
钼箔:厚度≤0.1mm(常见0.01~0.1mm),可低至5μm(需特殊工艺)。
钼片:厚度0.1~1mm,兼顾强度与可塑性。
高纯度:≥99.95%(3N5)或更高(如99.99%),杂质少,避免高温晶界脆化。
表面精度:需抛光或电解处理,粗糙度Ra≤0.2μm(用于电子器件)。
柔性加工:极薄钼箔可弯曲或冲压成复杂形状(但需避免反复弯折导致断裂)。
核心应用
钼箔(超薄)
电子封装:功率半导体(如IGBT)的散热衬底。
柔性显示:OLED蒸镀掩膜板(替代传统因瓦合金)。
核工业:同位素分离膜、辐射屏蔽层。
科研领域:同步辐射光源窗口材料(高透光率与耐辐射性)。
钼片(稍厚)
真空电子器件:行波管、磁控管电极。
高温传感器:热电偶保护套、高温反应容器内衬。
光伏背板:薄膜太阳能电池的柔性基底(需表面镀铜或铝)。
生产工艺
轧制技术:
多道次冷轧(厚度<0.1mm需20道次以上),中间退火(1200℃氢气环境)消除加工硬化。
箔材需箔轧机(如森吉米尔轧机),控制张力防断带。
表面处理:
电解抛光:减少微裂纹,提高表面光洁度。
等离子清洗:去除有机物残留(用于半导体工艺)。
切割工艺:激光切割或精密蚀刻(避免机械应力导致翘曲)。