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热场的关键要素
温度范围:通常指炉内能达到的温度(如1200℃~3000℃)及工作温度区间。
均匀性:热场均匀性(如±5℃以内)对材料处理的稳定性至关重要,尤其在半导体、陶瓷烧结等领域。
热源类型:电阻加热、感应加热、微波加热、燃气加热等,不同热源影响热场分布。
保温材料:如陶瓷纤维、石墨、耐火砖等,用于减少热损失并维持热场稳定。
热场设计要点
加热元件布局:通过优化电阻丝、硅碳棒或石墨棒的排布,改善温度均匀性。
隔热层设计:多层隔热材料(如氧化锆、莫来石)可减少径向热梯度。
气流控制:对于需要气氛保护的炉型(如氢气炉),气流循环影响热场均匀性。
测温与反馈:热电偶、红外测温仪或光学高温计实时监控,配合PID算法调节功率。
应用场景与热场要求
晶体生长(如单晶硅):要求轴向/径向温差极小(±1℃),避免晶体缺陷。
粉末冶金:需快速升温和均匀烧结,防止产品变形。
热处理(淬火、退火):特定温区控制冷却速率,优化材料性能。
科研实验:可能需定制热场(如局部高温、梯度温度)。