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主要特性
✅耐高温:熔点高达2620°C,可在1600~2000°C下长期工作
✅高导热性:加热均匀,适用于蒸发镀膜
✅低蒸气压:真空环境下几乎不挥发,减少污染
✅抗热震性:相比钨舟,钼舟更耐热冲击
✅耐腐蚀:对熔融金属(如铝、银、铜)有良好抗蚀性
主要应用
1.真空镀膜(蒸发源)
电子束蒸发(用于OLED、光伏、光学镀膜)
电阻加热蒸发(如镀铝、镀银)
2.半导体与电子行业
晶圆制造中的金属化工艺
高纯金属(如金、银、铜)的熔炼与提纯
3.科研与实验室
高温材料烧结
单晶生长辅助容器
4.特种玻璃制造
玻璃纤维熔融承载器
制造工艺
粉末冶金(PM)(主流方法)
钼粉压制→高温烧结→冲压成型→精加工
钼板冲压焊接(大型钼舟)
钼板切割→折弯成型→电子束焊接